真空泵系統的工作原理

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本真空成型上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

　　真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器。

　　進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種tray盤類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

　　隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強範圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣後才能滿足生產和科學研究過程的要求，由於真空應用部門所涉及的工作壓力的範圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用於所有的工作壓力範圍，只能根據不同的工作壓力範圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各內襯種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。